氣溶膠檢漏高效過濾器的檢漏通常采用PAO發生器在濾器上游發塵，使用光度計檢測濾器上下游氣溶膠濃度來判定濾器是否有泄漏。氣溶膠檢漏發塵的目的是因高效過濾器上游塵粒濃度較低，僅用粒子計數器在不發塵的情況下檢測，較難發現有泄漏，需補充發塵才能明顯、容易地發現泄漏。

        氣溶膠檢漏當氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉換成電信號，此信號經放大和數字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。氣溶膠檢漏通過與參比物質產生的信號的對比，可以直接測量氣體中顆粒物質的質量濃度，因此其用途十分廣泛氣溶膠檢漏確定高效過濾器本身及其安裝是否有明顯的滲漏，必須在現場對以下幾處進行測試，過濾器的濾材，過濾器的濾材與其框架內部的連接，過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間，支撐框架和墻壁或頂棚之間。

        氣溶膠檢漏DOP檢漏的材料、儀器有，塵源（PAO溶劑）、氣溶膠發生器、氣溶膠光度計。氣溶膠檢漏直接使用空氣而不需要壓縮氣體作為動力。在20Pa工作壓力下，氣流速度為50~2025f3/min時，可產生10~100ug/mL 濃度的多分散性亞微米級油塵氣溶膠。使用的氣溶膠光度計為ATI 2H型光度計，動態測量范圍為0.00005~120ug/L，采樣流量為1F3/min(28.3L/min)。

        氣溶膠檢漏在待測HEPA上游一側引入PAO氣溶膠對于HVAC系統中的HEPA, 為使氣溶膠到達HEPA時時的濃度均勻，可將氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入，如要從風管中引入，則應在距HEPA至少10倍風管直徑處引入，并盡量減少拐彎（美國環境科學和技術學會）。一般情況下，保持上游氣溶膠達到要求濃度，且濃度波動在一定范圍即可。對于層流罩、超凈臺上的HEPA，氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入。

        氣溶膠檢漏光度計初始化、設定100\%、0％參比標準值 按照氣溶膠光度計操作要求進行初始化、設定報警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發生器操作要求調節發生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達到10~20ug/mL。